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表麵潔淨度測試儀(yi) 產(chan) 品參數表麵潔淨度測試儀(yi) 產(chan) 品參數
儀(yi) 器概述：
表麵潔淨度測試儀(yi) 采接觸式，量測物體(ti) 表麵的粒子數量的設備!半導體(ti) ，麵板廠，設備商與(yu) 所有清潔部件廠商，驗證部件表麵是否幹淨的檢驗標準工具，人的肉眼很難看清直徑在100微米以下的粒子，這些粒子會(hui) 快速沉降，逃避常規的空氣檢測從(cong) 而聚集在關(guan) 鍵表麵或產(chan) 品上，從(cong) 而減少產(chan) 品的良率及降低產(chan) 品的穩定性。
執行標準：
ISO14644-9:2022 《潔淨室和相關(guan) 的受控環境第 9 部分:顆粒濃度表麵清潔度的評估》
技術參數：
控製係統：PLC
操作界麵：7寸觸摸屏
流量:28.3L/min+5% 內(nei) 置流量傳(chuan) 感器，流量自動閉環控製
光源: 進口激光二極管
測試粒徑:0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.5、0.7、1.0、3.0、5.0um（可根據客戶需求定製，最多八個(ge) 通道）
最大飽和濃度:2000000/ft3（5%）
自淨時間:≤10min
測量次數:0-99次周期:0-99999秒測量間:0-9999秒時時間:0-9999秒
潔淨度等級:1~9級
采樣頭規格:φ36.5
數據單位:m3、ft3
SCP等級:1級-8級
表麵類型:圓形、方形
表麵探頭:φ12.7 mm、φ20 mm、φ30 mm、φ50 mm、φ70 mm
數據單位:m2、ft2、in2、cm2、mm2
根據探頭的形狀（如:圓形輸入直徑、方形輸入長寬尺寸），自動計算出表麵積。
打印功能:熱敏打印機
數據儲(chu) 存:可儲(chu) 存100000組數據
重量:15kg
外形尺寸:300*400*450mm
電源：AC220V 50Hz 150W （可選帶鋰電池組）
基本配置：
主機 一台
說明書(shu) 一份
合格證 一份
簽收單 一份
電源線 一份
扳手 一套
保修卡 一個(ge)
銘牌 一個(ge)
